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2月22日光刻机（胶）板块较上一交易日下跌0.03%，七彩化学领跌。当日上证指数报收于3291.15，下跌0.47%。深证成指报收于11900.12，下跌0.57%。光刻机（胶）板块个股涨跌见下表：
从资金流向上来看，当日光刻机（胶）板块主力资金净流出9819.28万元，游资资金净流入6675.3万元，散户资金净流入3143.97万元。光刻机（胶）板块个股资金流向见下表：
北向资金方面，当日光刻机（胶）板块北向资金持股市值为22.08亿元，增持0.18亿元。其中增持最多的是普利特，增持了557.36万元。减持持最多的是雅克科技，减持了862.24万元。光刻机（胶）板块北向资金持股变动明细见下表：