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《科创板日报》8月25日讯（记者郭辉），8月25日盘后，芯源微（688037.SH）2022年半年度报告显示，实现营收5.04亿元，同比增长43.70%；归母净利润6940.67万元，同比增长97.91%。
单季度来看，芯源微Q2单季度营收3.21亿元，同比增长34.97%，创下公司历史单季度营收最高纪录；归母净利润实现3699万元，同比增长29.50%。
芯源微表示，业绩增长主要受半导体行业景气度持续向好影响，同时产品竞争力不断增强，新签订单同比大幅增长，收入规模持续增长。
财报还显示，芯源微经营活动产生的现金流量净额达到1.12亿元，同比由负转正，公司表示上半年销售回款节奏良好。同时公司上半年合同负债也有大幅增长，期末余额为6.28亿元，较期初增加77.99%，表明公司目前在手订单饱满。
《科创板日报》记者注意到，芯源微上半年研发费用4268万元，占营收比重8.47%，比去年全年水平有所下滑。公司方面表示，原因主要是部分研发项目处于设计阶段，研发材料采购领用存在滞后效应。
分产品条线来看，在前道涂胶显影领域，公司前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点的多项关键技术方面取得突破。